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EMX和HFSS仿真对比:疑问解答

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首先感谢贾博士的文章,读了受益匪浅,本人也一直从事片上的电感仿真研究,贾博士有提到过虽然矩量法 FEM 是不同算法但是通过适当的建模、仿真设置,是可以达到相同的仿真效果;为此我做了一个小实验,始终得不到正确的结果,还望贾博士帮我分析下,看看哪里出了问题?

取材是一个小电感,约0.6nH,M7为电感层,M1为参考层(为了保证和HFSS 一样,HFSS集总端口需要回流路径),M1层感生出来的磁场会抵消一定原电感磁通量的变化,因此会减小电感值。

如下是HFSS设置:AirBox 已被隐藏,加辐射边界;Si衬底地面加Perfect E边界

放大看端口设置:driven terminal;端口参考M1;

仿真结果对比:

疑问如下:

1 导致Q值差距的问题在哪?哪些仿真设置还有问题?

2 很赞同贾博士说的仿真之前,先要确定电感在电路里面的应用情况;在实际芯片中,电感本身、输入端口的参考更有可能是参考相邻的金属层(sub的厚度大于300um),按照矩量法的条件,它假设衬底下面有个PEC平面 ,这是否可以认为矩量法的这种假设并不符合电感真实的参考路径?

也许我对以上的理解有误区,还望指出,谢谢!


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